TS-4×200 四通道多组分红外热电堆传感器

Leibniz IPHT 坐落德国耶拿，旗下 KMNT 微纳技术中心配置 700㎡洁净加工空间，搭建完整 MEMS 微纳加工产线，自研薄膜热电、高精度光刻两类核心工艺。全系列红外探测器、显微计量标板均为研究所自研器件，产品参数可对接德国 PTB 完成量值溯源；器件采用无源室温工作设计，适配科研实验室、计量院所、医疗设备、工业自动化、航天配套、半导体检测多类场景。北京启星创通（bjqxct.com）为国内合作供货渠道，可提供原厂规格资料、校准证书配套、设备集成技术咨询等服务。

产品简介

TS-4×200 为四通道一体化 MEMS 红外探测器件，4 个独立探测单元各集成 200 组热电偶，各通道可匹配不同红外吸收滤光层。可提供整片晶圆、裸芯片、柔性基板、TO-39 密封封装，多用于多组分气体同步检测设备，常见于医疗气体监测、工业尾气在线分析场景。

工作原理

四路热电堆单元独立排布，各通道对应专属光谱吸收膜，不同波段红外辐射分别生成独立热电势信号，后端电路分离读取即可同步测算多种气体浓度；全程无源室温运行，无需制冷组件。

产品特点

1. 四路信号独立输出，通道间信号干扰偏低；

2. 光谱波段组合支持定制，可按需求搭配 3~5μm、5.5~13μm 通道数量；

3. 气密填充惰性气体，降低长期使用噪声；

4. 内置统一热敏电阻，完成整机环境温度补偿；

5. 结构稳定，适配医疗设备量产集成需求。

关键参数

应用方向

重症监护麻醉气体分析仪、呼吸机呼吸气体检测设备、工业多组分废气在线监测装置、多通道红外辐射采集设备、航天器多点温度同步探测模块。

1. 德国研究所自有洁净加工产线，薄膜微加工、高精度光刻工艺成熟；

2. 器件参数可对接 PTB 实验室完成量值溯源，可配套出具校准相关文件；

3. 全系热电堆器件无源运行，无需制冷与外接偏置，简化整机电路结构；

4. 传感器光谱区间、封装形式，标板尺寸、光栅周期可按客户需求调整；

5. 产品适配科研实验设备、工业量产仪器多类集成场景；

6. 国内渠道提供原厂资料翻译、光路电路配套咨询、返厂标定对接服务。