红外阵列传感器・ZS-64.2 红外阵列传感器

Leibniz IPHT 坐落德国耶拿，旗下 KMNT 微纳技术中心配置 700㎡洁净加工空间，搭建完整 MEMS 微纳加工产线，自研薄膜热电、高精度光刻两类核心工艺。全系列红外探测器、显微计量标板均为研究所自研器件，产品参数可对接德国 PTB 完成量值溯源；器件采用无源室温工作设计，适配科研实验室、计量院所、医疗设备、工业自动化、航天配套、半导体检测多类场景。北京启星创通（bjqxct.com）为国内合作供货渠道，可提供原厂规格资料、校准证书配套、设备集成技术咨询等服务。

产品简介

ZS-64.2 是 KMNT 自研 MEMS 薄膜热电堆 64 通道红外阵列传感器，专为分光红外光谱、多通道并行红外检测开发，采用硅基锑铋薄膜微加工工艺，支持裸芯片与阵列成品两种供货形态，可定制多层吸收膜匹配目标红外波段。

工作原理

由 64 组独立热电堆探测单元线性阵列排布；红外辐射入射光敏区被吸收层转化为热能形成温差，热电薄膜基于塞贝克效应输出对应辐射强度的热电电压，多通道同步采集即可实现光谱分辨、多点红外辐射分布检测，全程无需制冷、无外加偏置电源。

核心特点

1. 64 通道一体化线性阵列，像元一致性高，通道串扰极低；

2. MEMS 微桥绝热结构，低热容量、高红外吸收率；

3. 无源被动探测，室温常温运行，无需制冷机；

4. 光谱响应可定制，标准覆盖 3–5μm、5.5–13μm 中红外；

5. 长期温漂小，计量级稳定，可用于光谱仪基准配套；

6. 裸芯片 / 阵列封装两种交付形式，适配自主集成。

关键参数

典型应用

• FTIR 傅里叶红外光谱仪、微型分光光谱设备；

• NDIR 多组分气体同步检测（CO、CO₂、CH₄、麻醉气体）；

• 工业燃烧尾气、热处理炉分布式红外监测；

• 航天卫星红外光谱载荷、空间辐射探测；

• 计量实验室多通道红外系统校准标定。

1.德国研究所自有洁净加工产线，薄膜微加工、高精度光刻工艺成熟；

2. 器件参数可对接 PTB 实验室完成量值溯源，可配套出具校准相关文件；

3. 全系热电堆器件无源运行，无需制冷与外接偏置，简化整机电路结构；

4. 传感器光谱区间、封装形式，标板尺寸、光栅周期可按客户需求调整；

5. 产品适配科研实验设备、工业量产仪器多类集成场景；

6. 国内渠道提供原厂资料翻译、光路电路配套咨询、返厂标定对接服务。