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TS-80 微型耐高温热电堆红外传感器

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商品说明

TS-80 微型耐高温热电堆红外传感器

Leibniz IPHT 坐落德国耶拿,旗下 KMNT 微纳技术中心配置 700㎡洁净加工空间,搭建完整 MEMS 微纳加工产线,自研薄膜热电、高精度光刻两类核心工艺。全系列红外探测器、显微计量标板均为研究所自研器件,产品参数可对接德国 PTB 完成量值溯源;器件采用无源室温工作设计,适配科研实验室、计量院所、医疗设备、工业自动化、航天配套、半导体检测多类场景。北京启星创通(bjqxct.com)为国内合作供货渠道,可提供原厂规格资料、校准证书配套、设备集成技术咨询等服务。

产品简介

TS-80 为德国 Leibniz IPHT KMNT 基于硅基底 MEMS 工艺制作的微型热电堆红外传感器,采用锑铋多层薄膜制备探测单元。产品支持裸芯片、改良 TO-39 密封封装两种交付形式,可定制适配高温工况版本,内置硅热敏电阻用于环境温度补偿,适配狭小光路与高温检测设备集成。

工作原理

依托塞贝克热电效应,红外辐射入射表层吸收膜转化为热能,80 组串联热电偶形成冷热端温差,输出与辐照强度呈线性关系的电压信号;器件为无源工作模式,运行无需制冷设备、无需外接偏置电压,适配直流与低频交流红外信号采集。

产品特点

  1. 芯片尺寸小巧,适配微型光谱、便携检测设备内部狭小光路;

  2. 常规工作区间 - 20~+85℃,定制版本可在 180℃环境稳定运行;

  3. 噪声水平偏低,直流响应区间区间宽泛;

  4. 密封腔体可填充氮气、氩气、氙气等惰性气体,降低环境噪声干扰;

  5. 标准光谱覆盖 3~5μm、5.5~13μm,多层吸收膜可按需调整光谱响应区间;

  6. 封装结构具备一定抗热冲击、机械震动能力,整机重量不足 1g。


商品参数

关键参数

参数项技术指标
热电偶对数80 对
光敏区域直径 0.5mm,面积 0.2mm²
芯片尺寸2.5×2.5mm
内阻13~22kΩ
300K 噪声电压≤20 nV/√Hz
直流响应度240~315 V/W
时间常数≤80 ms
比探测率 D*5.5~7.4×10⁸ cm·Hz¹ᐟ²/W
标准光谱区间3~5μm、5.5~13μm,支持定制
封装方案裸芯片、改良 TO-39 气密封装

应用方向

工业高温炉非接触测温、微型 NDIR 气体检测设备、微流控红外检测模块、狭小腔体热源监测、便携式红外光谱探头、高温工艺在线监测设备。


1.德国研究所自有洁净加工产线,薄膜微加工、高精度光刻工艺成熟;

2. 器件参数可对接 PTB 实验室完成量值溯源,可配套出具校准相关文件;

3. 全系热电堆器件无源运行,无需制冷与外接偏置,简化整机电路结构;

4. 传感器光谱区间、封装形式,标板尺寸、光栅周期可按客户需求调整;

5. 产品适配科研实验设备、工业量产仪器多类集成场景;

6. 国内渠道提供原厂资料翻译、光路电路配套咨询、返厂标定对接服务。


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