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详细说明

纳米线宽 / 光栅周期标准样品（Nanoscale Line Width / Grating Period Standard）

: ~~暂无价格~~

商品说明

一、产品概述

本款纳米线宽光栅周期标准样品为德国 Supracon 原厂计量标样，适配多类高分辨显微设备横向尺寸校准、分辨率验证与像差检测，覆盖深紫外显微镜（DUV）、共聚焦激光扫描显微镜（CLSM）、原子力显微镜（AFM）三类主流设备。

标样基底采用石英基材，表层沉积 25 nm 厚纳米晶硅并通过精密刻蚀形成多类型光栅结构，图案在紫外波段仍具备良好光学对比度，可兼容紫外透射、紫外反射、激光扫描多种观测模式，兼顾测量精度与使用成本。

芯片集成一维线性光栅、二维十字光栅、圆形光栅三类图案，一维光栅侧边单独配置独立单结构，用于临界尺寸（CD）定量标定；光栅周期覆盖 160 nm~4 μm，对应线宽区间 80 nm~2 μm，尺寸档位丰富，满足不同尺度纳米检测需求。

单块校准芯片尺寸 8×8 mm²，配套阳极氧化铝材质标准载片，芯片集成金质定位标记，便于快速定位观测区域；产品可按需提供德国布伦瑞克 PTB 研究院出具的线宽、周期校准证书，测量量值具备权威计量溯源性。

二、产品核心特点

多类型复合光栅结构

同时搭载一维 XY 向线性光栅、二维十字光栅、圆形光栅，兼顾线性尺寸校准、二维正交畸变检测、圆形结构圆度验证，单一样品可完成多项设备性能校验。

全紫外波段高光学衬度

纳米晶硅刻蚀结构在深紫外波长区间成像对比度良好，适配 248 nm 深紫外浸没式高分辨显微系统，可清晰分辨 160 nm 微小周期光栅。

多设备通用兼容

一套标样同时适配 DUV 深紫外光学显微镜、CLSM 共聚焦显微镜、AFM 原子力显微镜，实验室可减少多规格标样采购数量。

可开展像差检测

规整均匀的纳米光栅阵列，可用于光学显微系统散光、畸变等成像缺陷检测，辅助设备日常质控。

尺寸均匀稳定，计量可溯源

光栅沿线条长度方向尺寸偏差可控，主周期测量不确定度低；支持 PTB 官方计量认证，满足实验室计量、第三方检测合规要求。

商品参数

三、详细技术参数

项目	技术指标
基底材质	石英玻璃
功能层	纳米晶硅，厚度 25 nm
校准芯片尺寸	8 mm × 8 mm
配套载片	76×26×2 mm，阳极氧化铝合金
定位标记	金层，厚度 100 nm
光栅种类	1. 一维线性光栅（X/Y 双向）2. 二维十字光栅3. 圆形光栅4. 独立单结构（用于 CD 临界尺寸标定）
单组光栅区域尺寸	常规 10×10 μm²（4 μm 周期光栅除外）
标称线宽（CD）	80 nm、100 nm、115 nm、130 nm、200 nm、250 nm、350 nm、500 nm、2 μm
线宽均匀性	6 μm 长度区间内线宽偏差＜8 nm（1σ）
光栅周期档位	160 nm、200 nm、230 nm、260 nm、300 nm、400 nm、500 nm、700 nm、1 μm、4 μm
主周期不确定度	3 nm（1σ）
圆形光栅圆度误差	X/Y 方向相对主周期偏差 ±0.6%（160 nm 光栅偏差 ±1 nm）
配套认证	可申请德国 PTB 布伦瑞克物理技术研究院线宽、周期校准证书