Supracon纳米尺度 AFM-CD 标准样品（原子力显微镜临界尺寸校准标样）AFM CD standard

一、产品概述

本款纳米尺度 AFM-CD 标准样品由德国 Supracon AG 研发生产，是面向原子力显微镜（AFM）的专业纳米级校准器件，核心用于 AFM 线宽、光栅周期等关键尺寸（CD）校准，同时可辅助评估 AFM 探针针尖形貌，适配纳米尺度精密测量场景。

标样基底采用 <110> 取向单晶硅材质，通过高精度刻蚀工艺制备出一系列表面平整、边缘锐利、侧壁垂直的一维线性光栅结构。整套标样具备优异的结构平行度与尺寸一致性，最小线宽可达 50 nm，结构深度统一为 250 nm，能够满足纳米技术、半导体、纳米光刻、纳米生物及材料科研等领域对 AFM 设备的计量校准需求，保障不同工况下测量数据的统一性与可靠性。

校准芯片整体尺寸为 8 mm×8 mm，芯片中心区域集成两级定位结构与多组线性光栅，布局规整、便于快速定位观测区域，适配主流型号原子力显微镜上机使用。产品可接受德国布伦瑞克联邦物理技术研究院（PTB）计量认证，校准数据具备权威溯源性。

二、核心结构与特点

1. 基底与表面：选用 <110> 单晶硅基底，芯片表面粗糙度低于 1 nm，基底稳定性强，可长期用于显微测量校准工作。

2. 光栅结构：全部为一维线性光栅，单组光栅区域尺寸约 10 μm×10 μm；共设置 6 组不同标称线宽的五线条光栅，线间间距约 1 μm，单组光栅标称长度 10 μm。

3. 边缘与侧壁性能：光栅侧壁倾角 89°，接近垂直；结构边缘半径小于 15 nm，边缘峰峰值粗糙度低于 5 nm，线条边缘锐利，可精准还原纳米尺度形貌特征。

4. 尺寸均匀性：线条沿长度方向尺寸偏差小，1 μm 区间内线宽偏差＜3 nm（1σ），整体结构平行度偏差小于 10 nm，测量重复性良好。

5. 计量溯源：可按需提供 PTB出具的线宽、光栅周期校准证书，满足实验室计量、质检、第三方检测等合规要求。

三、详细技术参数

四、主要应用领域

1. 原子力显微镜校准：用于 AFM 设备 X/Y 轴尺度、纳米线宽、光栅周期的日常校准与定期核查，修正设备测量误差，保障 AFM 长期测量精度。

2. 探针针尖表征：依托锐利的纳米光栅结构，辅助检测、分析 AFM 探针针尖形貌、针尖半径等参数，判断针尖磨损状态，优化测试方案。

3. 半导体行业：半导体芯片、微纳器件、光刻胶图形的临界尺寸测量设备校准，适配纳米光刻工艺质控环节。

4. 材料科学研究：纳米薄膜、二维材料、微纳涂层等样品形貌测试前的设备校准，提升纳米尺度形貌、尺寸测量数据准确性。

5. 科研与检测实验室：高校、科研院所、第三方检测机构的 AFM 设备计量、能力验证、实验数据比对，实现测量结果国际互通。

6. 纳米生物技术：生物纳米结构、生物大分子等样品观测所用 AFM 设备的精度校准。

五、配套与使用说明

1. 芯片自带两级定位结构，可快速在显微镜视野中找到校准光栅区域，降低操作难度。

2. 标样为纯硅刻蚀结构，无额外镀层，化学稳定性好，常规实验室环境下可长期保存与重复使用。

3. 配套提供扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）参考成像资料，便于用户对照参考。

4. 支持原厂技术咨询，可按需申请 PTB 官方计量校准服务，适配各类合规化检测场景。